十八世紀以來的移民潮，台北平原上拓墾運動與水田化運動的進展，使得台北盆地的漢人聚落急速增加，清朝政府設官分治，正是這一社會現象的反映。乾隆五年（1740）劉良璧等《重修福建台灣府志》謂當時淡北分竹塹、淡水兩保，共轄三十五莊，今台北縣市區域屬淡水保，轄二十五莊，其中加里珍莊、興直莊當處今五股部份地區，乾隆十一年（1746）范咸《重修台灣府志》所載堡里村庄與劉志同；至乾隆二十九年（1764）刊的余文儀《續修台灣府志》記載了淡水廳的莊社，除了武勝灣社、八里坌社外，也記錄了加里珍莊、塭仔莊、武勝灣莊等一百三十二莊，代表漢人聚落的擴增並為官方所認知，五股地區當時轄屬台灣府淡水廳淡水保。
清朝政府原本在八里坌設置巡檢一名，稽查台北地方，乾隆十五年（1750）正式移駐新莊，三十二年（1767）改稱新莊巡檢，位處今五股部份地區的加里珍等庄治安亦歸新莊巡檢管轄。
乾隆中期，台北平原全域水田化運動已完成，人口日益增加，巡檢的權責，逐漸無法適應台北地區的需要；乾隆五十二年（1787）林爽文之亂後，清政府於乾隆五十四年（1789）陞新莊巡檢為新莊縣丞，仍歸淡水同知管轄。
五股之中塭莊、洲仔尾莊歸台灣府淡水廳興直堡轄，而此一時期文獻亦載五股地區屬八里坌堡轄內。此外，同治十一年（1872）的〈八里坌保庄規〉，其中包含的村庄有土地公、桂子坑口、大窠口等，約當今五股鄉、泰山鄉境內；又同治十一年（1872）五月在一份官方文件〈淡水分府周造送淡水廳屬各堡總理、董事姓名清冊〉中，除了興直堡外，也有「八里坌堡」一稱；而《淡水廳志》卷三〈建置志．橋渡〉載成仔寮渡在「廳北百二十里八里坌堡」。綜上所述，大抵當時五股觀音山及林口台地村莊隸八里坌堡，新莊平原區域村莊屬興直堡，這樣的堡制區劃一直延續到日治前期。
同治十年（1871），淡水同知陳培桂「即以分地治民上請」，請陞新莊縣丞為直隸州；同治十二年（1873），臺灣道夏獻綸主張改淡水同知為直隸州，添一縣為竹塹，閩浙總督李鶴年准之，方議試辦，旋因南部牡丹社事起而罷。同治十三年（1874），為牡丹社事，欽差辦理台灣等處海防兼理各國事務大臣沈葆楨赴臺，事平後，光緒元年（1875）六月上奏，清朝准其請，台北設置台北府，仍隸屬台灣兵備道，附府添設淡水縣。
光緒五年（1879）淡水縣、新竹縣正式分治，淡水縣治設於台北（今台北市城中區），原設新莊縣丞，於同年裁撤，改為台北府經歷兼管司獄事務。五股地區於是劃歸台北府淡水縣。
光緒十年（1884）夏，中法戰役起，法軍入侵台北，外患日亟。清朝政府鑑於台海海防地位重要，光緒十三年（1887）正式建省，劉銘傳出任台灣設省後第一任巡撫；並重新調整行政區域，台北府改隸台灣省，屬台北府轄的淡水縣共管轄十堡、四街、三百三十三莊，其中，八里坌堡下北勢坑莊、水碓窠莊、石土地公莊、洲子莊、塭底莊、牲仔寮莊、觀音坑莊、獅仔頭莊等八莊，以及興直堡下舊塭莊、新塭莊、樹林頭莊、羅古莊、更寮莊等五莊，共計十三莊，屬於今五股地區。
一八九五年（明治二十八年，光緒二十一年）六月二十八日，日本首任台灣總督樺山資紀頒布「地方官假（暫行）官制」，參酌清朝舊制，設三縣一廳，將原有台北府改為台北縣，縣治設於台北城內（原台北府署舊址），直轄八堡。然而，是時台灣義軍四起，地方官制，除台北縣外，均無法付諸實施。同年七月十八日，台灣總督決定施行軍政。八月六日以陸達第七十號令，頒布「台灣總督府條例」，地方行政制度改設一縣、二民政支部（台灣及台南）、一廳。台北縣維持不變，下轄基隆、宜蘭、新竹三支廳及新設淡水支廳，八里坌堡改由淡水支廳管轄。
是時五股之興直堡地區歸台北縣直轄，八里坌堡地區轄屬台北縣淡水支廳。
次年恢復實行民政，於三月三十一日以敕令第九十一號，公布修正「台灣總督府地方官官制」（四月一日起施行），仍分全台為台北、台中、台南三縣及澎湖島廳。台北縣下設淡水、基隆、宜蘭、新竹等四支廳。嗣於五月二十日以府令第三號，規定縣及支廳之管轄區域。上述兩年內約三次變動，除設縣、廳、支廳外，其管轄地方仍以清代堡制分劃。
一八九六年（明治二十九年，光緒二十二年）十月五日，日將乃木希典繼任第三任台灣總督。是時台灣各地義軍仍極力抗日，乃木總督認為原設之三縣一廳制度，轄區遼闊，交通不便，乃有縮小縣區之議。一八九七年（明治三十年，光緒二十三年）四月二日，以敕令第一五二號，公布台灣總督府地方官制，調整地方行政區域，將原有三縣一廳，改為台北、新竹、台中、嘉義、台南、鳳山等六縣及宜蘭、台東、澎湖等三廳，並依據該官制第三十四條，廢原有支廳，在縣廳之下設辨務署。又於五月三日以敕令第一五七號，規定在辨務署下設置街庄社長。台北縣治設於今台北市內，管轄舊台北縣直轄地區及基隆，淡水二支廳轄區。縣下分設台北、士林、三角湧、景尾、桃仔園、中壢、滬尾、樹林口、基隆、水返腳、頂雙溪、金包里以及新莊等十三辨務署。
其中，新莊辨務署轄區為原興直堡及擺接堡，樹林口辨務署所轄為原八里坌堡。五股之原八里坌堡地區歸樹林口辨務署管轄，原興直堡地區則改隸新莊辨務署。
一八九八年（明治三十一年，光緒二十四年）三月，兒玉源太郎接任第四任台灣總督。兒玉就職以後，認為台灣軍政、民政界限不明，官制紊雜，政出多門，應當統一、簡化官制。乃將地方官制調整、縮編，並將警察署合併於辨務署，亦即將一般行政與警察行政一元化，加強實施警察統治。
同年六月二十八日，復以府令第三十八號，公布各縣廳之位置及管轄區域。台北縣並於同時，以告示第四十四號，公布各辨務署支署及警察官吏派出所位置。新的台北縣仍設治於台北城內，轄區擴大包含原台北縣及新竹縣的竹北一堡、竹北二堡、竹南一堡。縣下設台北、三角湧、景尾、桃仔園、滬尾、基隆、水返腳、頂雙溪、新埔、新竹等十辨務署。新莊原設辨務署管轄興直、擺接兩堡，至此取消併歸於三角湧辨務署。
今五股鄉轄區在當時的統轄關係為：八里坌堡轄下各庄隸滬尾辨務署山腳莊支署，興直堡下各庄屬三角湧辨務署新莊支署。
一八九九年（明治三十二年，光緒二十五年）十月七日，台北縣以第三十二號令，修正「本縣各辨務署管內街庄社長管轄區域」，台北縣下設台北、水返腳、基隆、景尾、滬尾、桃仔園、三角湧、新竹等八辨務署，裁併頂雙溪、新埔二署。台北辨務署下轄大加蚋、芝蘭一、芝蘭二、芝蘭三、興直、擺接五堡，凡十七區，興直堡（新莊支署）轄第九、十、十一區，第十區十三庄之中，包括五股之樹林頭庄、羅古庄、褒仔寮庄、更寮庄、鴨母港庄、下竹圍庄、洲仔尾庄、新塭庄、舊塭庄等九庄。
一九０一年（明治三十四年，光緒二十七年）十一月，台灣總督兒玉源太郎以原有總督府一縣廳一辨務署之三級制，在行政上有欠靈活，因理事機關為總督府與辨務署，縣、廳大抵為轉承機構，事體稍大者歸總督府處理，涉及範圍不大之小事歸辨務署處理，縣、廳可有可無。遂於是月九日以日皇敕令第二０二號，公布「台灣總督府地方官官制」，實施地方官制大革新，廢縣及辨務署，全台分設二十廳，廳下各置支廳，為廳長之輔助機關，以警部為支廳長，以警察事務為主要。
原台北縣地區在此次改制中，劃分為台北、基隆、新竹、深坑、桃園五廳。台北廳除直轄外，另轄錫口、枋橋、士林、滬尾、小基隆與新莊等六支廳。同年十一月十一日，台北廳告示第三號公布支廳的名稱、位置及轄區，新莊支廳轄興直堡、擺接堡西盛庄等及八里坌堡一部，今五股全鄉境皆隸屬新莊支廳，包括：八里坌堡水碓庄、石土地公庄、五股坑庄、觀音坑庄、成仔寮庄、洲仔庄，以及興直堡樹林頭庄、羅古庄、匏仔寮庄、更寮庄、鴨母港庄、下竹圍庄、洲仔尾庄、新塭庄、舊塭庄。
一九０九年（明治四十二年，宣統元年）第五任台灣總督左久間左馬太以台灣治安漸為寧靖，地方政務有長足進步、產業勃與，交通發達，原來的小區域主義以管轄便利為首要目標的地方廳制已無存在必要，乃修改施行八年之久的地方官官制。
是年九月十三日，左久間總督以敕令第二一七號，公布在台灣街庄社設置區長及區書記案，廢棄從前的街庄杜長，在街庄社或聯合數街庄社置區。區設區長役場，置區長，輔助廳長執行管內事務，並規定此制自一九一０年（明治四十三年）二月一日起實施。旋於同年十月二十三由，又以第二八二敕令，將原先的二十廳改為十二廳。新的台北廳治設於大加蚋堡城內，除直轄區外，分設新莊、錫口、枋橋、士林、滬尾、小基隆、金包里、水返腳、基隆、瑞芳、頂雙溪、深坑、新店等十三支廳。廳及支廳下則設區。台北廳設五十三區，新莊支廳下轄新庄、二重埔、五股坑、貴仔坑、樹林口、坑仔等六區。五股坑區長役場所轄八里坌堡觀音坑、洲仔、成仔寮、五股坑、五土地公、水碓等六庄，以及二重埔區長役場轄內興直堡更寮、新塭二庄，均在今五股鄉境內。
一九一九年（大正八年，民國八年）十月二十九日，田健治郎接任第八任台灣總督，也是日治時代第一任文官總督。田總督「以教化台灣人吏其完全與日本同化為統治方針」，「使台灣民眾成為完全之日本臣民，效忠日本朝廷，加以教化善導，以涵養其對國家之義務觀念」，其改革地方官治，推行地方自治，承認日、台人通婚合法化，廢止笞刑等，都以同化觀念作為理論基礎。
任職次年，七月二十六日，為落實「同化主義」，以敕令第二八一號，公布修正台灣總督府地方官官制，進行地方行政制度改革。廢廳設州，州下設郡、市，郡下設街、庄。清代沿襲至今的堡制，亦在這次改革中廢除，轉為歷史陳跡。新州制與市街庄制於一九二０年（大正九年，民國九年）十月一日起全面實施。
州下設郡，置郡守以地方理事官充之。當時各郡郡守都由日人擔任，新莊郡亦不例外，首任郡守為日人吉成安任，此後，郡制一直相沿未變，直至台灣重歸中國，前後施行二十五年間，共十六任郡守，都由日本人擔任。
台北州轄一市九郡六街三十四庄，台北州新莊郡下轄新莊街暨鷺洲庄、五股庄、林口庄等一街三庄，五股庄由原五股坑區觀音坑庄、洲子庄、成子寮庄、五股坑庄、石土地公庄、水碓庄及二重埔區更寮庄、新塭庄併合，是時五股庄的成立已略具有光復後五股鄉的規模。
街庄以下的行政區劃，又有大字、小字二名，日治時代大字區域與清末割台前的庄略同。五股庄大字觀音坑、洲子、成子寮、五股坑、石土地公、水碓等，為原台北廳八里坌堡一部；更寮、新塭則為原興直堡一部。
民國三十四年八月十四日，日本天皇宣布投降。民國三十四年八月二十九日，中國政府任命陳儀為台灣省行政長官，九月一日在陪都重慶成立台灣省行政長官公署。十月五日長官公署秘書長兼前進指揮所主任葛敬恩暨人員八十餘名抵台，是月十八日臺灣省行政長官公署開始辦公，二十四日陳儀抵達台北，翌日舉行受降典禮，台灣全境光復。十一月五日，成立各州、廳接管委員會，以連震東為台北州接管委員會主任委員，十一月八日起開始辦理地方機關接收。
當時以台灣淪陷已久，為免接收時期或有行政脫節現象，除改台北、基隆二市省轄市外，其他仍按日治時期原有組織分科辦事。同年十二月三十一日，台灣行政長官公署發表文告，擬改台北、基隆二市為省轄市，改台北州為台北縣，改郡為區，改街、庄為鎮、鄉；更以日人保甲之制，依自然形勢、杜會關係，設村里，在鄉為村，在鎮為里。
民國三十五年一月十六日台北州接管委員會取消，成立以日治時期原台北州為轄區的台北縣政府，改宜蘭市為縣轄市，改基隆、七星、宜蘭、淡水、海山、文山、羅東、蘇澳、新莊九郡為區，又根據〈接管計劃綱要〉第九條乙款及第十三條，改組街庄為鄉鎮，其原有區域暫不變更，台北縣三十七鄉鎮於焉成立，舊有各街、庄長則一律暫派為代鄉、鎮長。新莊區沿襲日治新莊郡的規模，下轄新莊鎮及五股、林口、鷺洲三鄉
五股鄉公所成立於三十五年一月二十七日，轄十村。
民國三十九年台灣省實施縣市地方自治，行政區域重新劃分，八月十六日，新莊廢區，轄下各鄉鎮由台北縣直轄，今日五股鄉的疆域與行政歸屬從此確定。本鄉東界蘆洲市、三重鎮，西界林口鄉，東北一角隔淡水河與北投、士林二鎮為鄰，北界八里鄉，南界泰山鄉及新莊鎮，面積三四．八八三三平方公里，居台北縣各鄉鎮之第十八順位，轄興珍、更寮、竹華、洲後、集福、觀音、成州、五龍、五股、德音十村。
民國五十九年十月十日行政區域調整，五股村調出陸一村，同時德音村調出貿商村；民國七十一年四月二十日竹華村併入更寮村；民國七十四年七月一日洲後村廢村，併入成州村，同年八月十日成州村調出成功村、五股村調出五福村；七十九年三月一日成德村、德泰村分別自成州村、德音村劃出成立，是時全鄉計十四村，共三０四鄰，戶數一一、五五一戶，人口數四五、三四四人。
